La producció EUV d'ASML ha augmentat de 22 unitats el 2019 a 42 unitats el 2021
Dec 09, 2022| Segons The Elec, ASML va anunciar recentment a la Conferència Global de l'Ecosistema EUV de 2022 que el nombre de dispositius EUV produïts per ASML ha augmentat de 22 el 2019 a 42 el 2021 i s'espera que superin els 50 aquest any. La producció augmentarà encara més l'any vinent. Una versió inicial del dispositiu High-NA EUV estarà disponible a finals de l'any vinent, amb un model de producció a finals de 2024 o principis de 2025.
En el seu anunci de resultats del tercer trimestre el 19 d'octubre, ASML va dir: "En el negoci EUV High-NA, ASML ha rebut comandes addicionals per a TWINSCAN EXE:5200; tots els clients d'EUV ja han enviat Ordres d'alta NA". El dispositiu High-NA EUV és un dispositiu que augmenta l'obertura numèrica (NA) de la lent amb capacitat de captació de llum de 0,33 a 0,55. Processament de circuits de semiconductors més refinats que els dispositius EUV existents. La majoria de la indústria està d'acord que els equips High-NA són essencials per als processos de 2 nm.
